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掃描電鏡如何控制電子束的聚焦和定位

日期:2023-08-01

掃描電鏡(SEM)通過(guò)對(duì)電子束進(jìn)行聚焦和定位來(lái)實(shí)現(xiàn)高分辨率的顯微觀察??刂齐娮邮木劢购投ㄎ恢饕婕按磐哥R系統(tǒng)和樣品掃描控制。

電子束聚焦: SEM中的電子束聚焦主要是通過(guò)磁透鏡系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。這些磁透鏡系統(tǒng)包括透鏡和除焦磁鐵等元件。當(dāng)電子束通過(guò)透鏡系統(tǒng)時(shí),透鏡會(huì)對(duì)電子束進(jìn)行聚焦,使其在樣品表面形成一個(gè)小的聚焦點(diǎn)。透鏡系統(tǒng)中的電流或電壓可以調(diào)節(jié),從而控制電子束的聚焦效果。聚焦后的電子束能夠提供更小的束斑(beam spot),從而獲得更高的分辨率。

電子束定位:電子束的定位是指將電子束準(zhǔn)確地定位在樣品的不同區(qū)域。這是通過(guò)控制樣品臺(tái)的運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。樣品臺(tái)可以在水平和垂直方向上進(jìn)行微小的運(yùn)動(dòng),使得電子束可以掃描在樣品表面的不同區(qū)域。通過(guò)控制樣品臺(tái)的運(yùn)動(dòng),可以將電子束定位在特定的樣品區(qū)域,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)不同區(qū)域的觀察和分析。

SEM中的電子束聚焦和定位通常由計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。操作者可以通過(guò)計(jì)算機(jī)界面調(diào)整電子束的聚焦和定位參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)所需的觀察和分析。通過(guò)對(duì)電子束進(jìn)行準(zhǔn)確的聚焦和定位,SEM可以提供高分辨率和高精度的顯微觀察,并在樣品表面獲取豐富的信息。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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作者:澤攸科技