掃描電鏡如何避免樣品在腔內(nèi)“漂移”?
日期:2025-04-09
掃描電鏡(SEM)中樣品在腔內(nèi)出現(xiàn)“漂移”現(xiàn)象,通常表現(xiàn)為圖像位置緩慢移動或無法穩(wěn)定對焦,嚴(yán)重時甚至圖像模糊、重影。這種“漂移”多由環(huán)境因素、樣品特性或設(shè)備狀態(tài)引起。以下是常見原因與應(yīng)對方法:
常見原因及解決方案:
1. 樣品未固定牢靠
原因:樣品未與樣品臺完全接觸,存在松動、翹曲或彈性變形。
解決:使用導(dǎo)電膠、碳膠帶或金屬夾具將樣品緊貼樣品托盤,確保牢固壓緊。
2. 樣品膨脹或脫氣
原因:濕樣品或低真空兼容性差的材料在抽真空過程中釋放氣體或微膨脹。
解決:
預(yù)烘干樣品(尤其是生物、聚合物、潮濕材料);
考慮使用低真空或環(huán)境掃描電鏡(ESEM);
減少束流強(qiáng)度,避免加熱導(dǎo)致氣化。
3. 靜電積聚導(dǎo)致樣品位移
原因:非導(dǎo)體樣品充電后產(chǎn)生靜電力,導(dǎo)致圖像漂移。
解決:
對樣品進(jìn)行導(dǎo)電鍍膜(如金、鉑、碳);
使用低加速電壓(如 <5 kV);
加接地導(dǎo)線,或使用導(dǎo)電膠與樣品臺良好接地。
4. 熱漂移
原因:電子束照射樣品時產(chǎn)生微小熱膨脹,導(dǎo)致熱漂移。
解決:
預(yù)先用電子束低劑量“預(yù)照”樣品,等其達(dá)到熱穩(wěn)定;
減少電子束聚焦時間與強(qiáng)度;
等待樣品在腔體內(nèi)“熱平衡”幾分鐘后再正式拍攝。
5. 環(huán)境震動或電磁干擾
原因:實(shí)驗(yàn)室地面震動、電梯/空調(diào)設(shè)備干擾等。
解決:
使用減震桌、防震平臺;
盡量在設(shè)備周圍保持電磁環(huán)境穩(wěn)定;
關(guān)閉附近干擾源(如大型馬達(dá)、電焊機(jī)等)。
6. 樣品托盤或機(jī)械部件松動
原因:載物臺機(jī)械結(jié)構(gòu)松動或定位不到位。
解決:
檢查樣品托盤是否擰緊;
檢查樣品桿、支架是否有間隙或磨損;
如長期存在,聯(lián)系維護(hù)人員檢查樣品臺系統(tǒng)。
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作者:澤攸科技